

半導體零件設計製造
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聿光科技專注於提供半導體與高科技製造業的專業技術解決方案, 我們致力於將創新的材料應用與客製化製程優化方案導入業界,協助設備商與製程端客戶在效能、良率與可靠性上持續突破。 我們的團隊橫跨材料選型、設備備品開發,擅長針對客戶需求快速反應,從開案討論、樣品製作到量產導入,全程提供專業支持,成為客戶值得信賴的技術夥伴。 主要營業項目為精密陶瓷、工程塑膠,應用於半導體製程的設備耗材;我們專精於材料的特性以處理客戶的問題,並代理日本高品質碳化矽、氧化鋁,不論是在半導體製程的上、中、下游,都有很廣泛的應用。
▸ 精密陶瓷類製品 RTA Tray(快速熱處理托盤) SiC Tray(碳化矽高溫載具) 天板(Ceramic Top Plate,適用於真空腔體、加熱模組) 陶瓷手臂(Wafer Transfer Arm) Clamp Ring(環形壓緊件) 中空一體式 Fork(減重設計,提升結構剛性) ▸ 工程塑膠類治具 PP / PBT / PC 等耐化學性與熱穩定性材料 半導體製程用夾治具、載具、遮罩件等專用工具 高潔淨要求的塑膠製品、機構輔具、固定模件