天燿股份有限公司

天燿股份有限公司（由原台灣富創得工程(股)公司于2024年10月更名）成立於2008年。是一個具有自主IP產權的半導體設備研發、製造、銷售客服產品公司。公司提供3大產品路綫： （1）SMIF生產綫全自動密閉盒上下料load ports和物料管控ID（IR和RFID）自動化系統； （2）高精度無塵wafer robot和設備前端自動化系統(EFEM/Sorter）; （3）高溫無塵無氧晶圓烘烤箱（thermal curing oven）和批量生產自動化整合系統。 天燿股份有限公司SMIF上下料系統核心技術傳承於美國SMIF技術發明人 Fortrend Engineering，經過近20年的技術積累以及市場經驗，公司于2024年推出LPT+系列的全新200mm和300mm的SMIF load ports。在 wafer robot產品方面，公司也推出了全新的 Bravo系列robots，在產能、精度、穩定性、和無塵潔净度四方面，完美的提供目前市面上性價比最高的robot產品綫，也為公司提供的標準Sorter和客製化EFEM提供了更强大的市場競爭力。公司的FVO 烤箱系列，采用公司最新的多軸溫控技術，在(+60~450度) 的全程溫控範圍内，可以保證 (+/- 1%)設定溫度的溫控均匀度，并且在全程溫控範圍内保證優于Class-10的腔體内潔净度，提供了市場競爭的最高標準。公司的oven系統也因此贏得國內外先進晶圓廠訂單，成為三維積體電路(3DIC)高階封裝製程的設備的主流供應商。